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国家自然科学基金杰出科学家浙江行 暨科学仪器类项目成果展
分类:大奖888官方网站88tp88  1177次浏览  发表时间:2019-12-5 16:04:55

        国家自然科学基金杰出科学家浙江行

                暨科学仪器类项目成果展

2019年11月28日-30日,国家自然科学基金杰出科学家浙江行(暨科学仪器类项目成果展)

年底总结会在嘉兴成功召开。

期间在夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、吕达仁院士、戴琼海院士出席参观;

其中长光所原副所长申德振、半导体所原副所长俞育德、

电工所副所长韩立、北京大学教授张志勇、中山大学教授刘阳辉、复旦大学教授孙清清、

浙江大学教授王宏涛等专家参加专题研讨会.


专家及项目组成员合影

一百多位专家及项目组成员于29号去往南湖之畔,参观了国家自然科学基金成果展、

及大奖888官方网站88tp88电子展出的双腔ALD、等离子体ALD、集束薄膜沉积、光刻机等高端仪器设备,

并产生了浓厚的兴趣,达成了采购意向


项目负责人夏洋为相关专家介绍设备研发亮点


大奖888官方网站88tp88双腔ALD设备



大奖888官方网站88tp88等离子体ALD设备


大奖888官方网站88tp88集束薄膜沉积设备




大奖888官方网站88tp88光刻机